用机械，物理，化学或物理化学法对腔体进行抽气，以获得真空的机器叫真空泵。真空泵有下列主要参数：
(1)抽气速率：即泵的生产能力。就是对于给定气体，在一定温度，压力下，单位时间内能从设备内抽走气体的体积，单位为m³/s或m³/h
(2)极限真空：真空泵在特定条件下，经抽气达到稳定状态的最低压力，单位为Pa或%。
(3)抽气量：在一定温度下，单位时间内从设备内抽走给定的气体量，单位为m³/h
(4)启动压力：真空泵开始工作时的压力。
(5)最大反压力：真空泵在指定负荷下工作，其反压力升高到某一定值时，泵失去正常的抽气能力，该压力称为最大反压力
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