提高油扩散泵极限真空的方法
发布时间：2016年04月22日 09:36 阅读：4710
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提高油扩散泵极限真空的方法大体分为扩散泵结构设计上的改进、减少油蒸气的返流和减少气体的反扩散三种，其主要途径接下来一起了解下。
1．扩散泵结构设计上的改进
改进扩散泵的结构，如加分馏装置；合理分配锅炉加热功率，增大锅炉中心区；改进喷嘴角度设计；在一级导流管中加装加热器进行气相加热，以增加蒸气流速度减少蒸气流的散射。上述措施也以减少油的裂化、返流，提高扩散泵的极限真空。
2．减少油蒸气的返流
(1)加挡油帽
在第一级喷嘴上面，加水冷挡油帽，通常可使返油量降低半个到二个数量级。
(2)障板
使用水冷或低温介质冷却的各种挡板，可使返油量大大降低。
(3)冷阱
使用液氮冷阱捕集返流蒸气。液氮冷阱不能全部把油蒸气挡住，仍有少量的油蒸气分子通过冷阱进入被抽容器中，其途径：①两个油分子之间的碰撞；②油分子和气体分子的多次碰撞；③没被捕获的油分子反弹到高真空的区域中；④室温下油从泵壁表面迁移。扩散泵系统采用液氮冷阱后可获得10-8Pa～10-9Pa的极限真空。
(4)吸附阱
扩散泵进气口安装13X型分子筛或氧化铝吸附阱吸附返流的油蒸气后，可以获得10-8Pa～10-9Pa的真空度。这种阱有如下缺点：①吸附剂易粉末化；②吸附剂要再活化；③需经常更换吸附剂，操作不便。
(5)钛升华阱
扩散泵和真空室之间装上用液氮冷却的钛升华阱，既可以消除有机物蒸气对系统的污染，又能降低CO、CO2和H2的分压。
(6)阀门
扩散泵油的返流，在泵启动和停止后的一段时间内有两个最大峰值，泵运转时可利用阀门的关闭避开这两个最大返油区。
3．减少气体的反扩散
反扩散过去的气体的分压和扩散泵前级排气口处该气体的分压成正比，降低前级压力和压缩比可以降低。
扩散泵的前级再串接一台扩散泵可以降低前级气体分压。采用多级泵(目前多采用四级泵代替原来的三级泵)，则可以降低压缩比，使反扩散减少。
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