油扩散泵的清洗和换油的步骤
发布时间：2016年02月23日 09:43 阅读：8259
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如果扩散泵太脏或者油变质，都将延长达到正常工作真空度的时间，极限真空度也会恶化。这时必须清洗和换油，其步骤大致如下：
(1)拆下扩散泵，取出喷咀系统，尽可能将它拆成单个零件。
(2)倒出被氧化或劣化了的油(呈褐色)。
(3)用石油醚或四氯化碳清洗喷咀系统各零件及扩散泵内壁。若油垢清洗不下来可用金属擦膏，仔细擦净(注意勿损坏金属喷口)。泵上方的水冷挡板也应洗净。
(4)装入干净的扩散泵油。注意油量一定要合适(根据说明书)，太多或太少都会影咆抽气速率。
(5)重新把扩散泵装配起来。
换炉丝
扩散泵长期使用，其加热器(电炉丝)变细，阻值增大，抽气速率也会下降，这时妊须换上功率相等的合适的炉丝。
维持一定的电源电压值
若扩散泵加热器电源电压下降，也会降低排气效率，应设法保证一定的电源电压值。
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