涡旋干式真空泵的工作原理与结构

涡旋干式真空泵的工作原理与结构

　　涡旋干式真空泵的结构简单，零部件少；间隙小、泄漏率小，具有较高的压缩比，在较宽压力范围内有稳定的抽速；由于压缩腔内容积的变化是连续的，因而驱动力矩变化小，功率变化小；振动噪声小，可靠性高。

　　由于涡旋泵的上述优点，涡旋泵在一些发达国家已经逐步代替了油封式机械泵。目前涡旋泵主要应用于分析仪器、半导体芯片生产线、液晶显示器生产线和科研设备上。

　　由于涡旋泵加工制造比较困难，再加上自身型线的特点，涡旋泵的抽速最大的也不超过10L·S-1 ，抽速最小的在1L·S-1左右，抽速大于4L·S-1的涡旋泵全部采用双侧涡旋结构，而抽速小于4L·S-1的泵多采用单侧涡旋结构。在实际应用中用量最大的是抽速为8L·S-1涡旋泵。

　　涡旋型线参数相同、相位角差π、基圆中心相距r (r的取值与渐开线节距及壁厚有关)的动涡旋盘与静涡旋盘组装后，可以形成数对封闭的月牙腔。当偏心轴推动动涡旋盘中心(即基圆圆心)绕静涡旋盘中心(即基圆圆心)做半径为r的圆周轨道运动时，这些封闭月牙腔容积相应地扩大或缩小，由此实现气体的吸人、压缩和排气的目的。低压气体从静涡旋盘上开设的吸气口进入吸气腔，经压缩后由静涡旋盘中心处的排气口排出。

　　涡旋泵的气体在由涡旋转子和涡旋定子组成的月牙腔内压缩，涡旋定子固定在机架的周边上，在涡旋定子的周边上开设有吸气口，在转子和定子涡旋体中心部位开设有排气口。涡旋转子随着曲轴的回转以偏心量r为半径绕定子中心做公转运动。涡旋转子还受防自转机构的约束，不能自转，始终保持着一种固定的姿态，其中心绕涡旋定子中心作半径为r的圆周运动。

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